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  • 產品名稱:MEMS和納米技術

  • 產品型號:Talysurf
  • 產品廠商:英國TAYLOR HOBSON
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簡單介紹:
通過準確測量MEMS裝置內的粗糙度,可以控制表面的相互作用-無論這些相互作用是微型齒輪系統中固體與固體之間的相互作用,還是微型流體泵中固體與液體之間的相互作用。
詳情介紹:

MEMS和納米技術

微型機電系統(MEMS)如今用于許多應用領域,其中包括壓力和加速度傳感器、微晶鏡片顯示裝置和微型流體泵。MEMS裝置充分利用集成電路行業所使用的制造技術,來創建諸如齒輪、隔膜和結合梁之類的機械構件。準確測量所有這些構件對于滿足低成本高質量的MEMS裝置的批量生產要求至關重要。

計量

粗糙度
通過準確測量MEMS裝置內的粗糙度,可以控制表面的相互作用-無論這些相互作用是微型齒輪系統中固體與固體之間的相互作用,還是微型流體泵中固體與液體之間的相互作用。

臺階高度
監控MEMS裝置的臺階高度是一項重要的性能指標。臺階高度與橫向尺寸信息一起可以提供有效的質量近似值,此近似值可影響裝置中單個元件的基本振蕩頻率。

橫向尺寸
在對微型齒輪和流體系統進行定性時,橫向尺寸特別重要。對體積和表面積以及諸如梁寬之類的重要尺寸進行準確測量,有助于控制*終裝置的性能。

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滬公網安備 31011502007567號

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